SEMICON China 2015
SEMICON China 2015 (时间:03/17～03/19)顺利落幕。
在百忙之中特意光临本公司的展示区的顾客，再次表示深深的谢意！
展示日期: 2015年03月17日～19日
展示会场: 上海新国际博览中心（SNIEC）
展示区号: 5106
Date: 2015/03/17
参展产品的介绍
2英寸搬运系统
有利于搬运模块，真空传输腔室的小型化设计
视频记录系统
可用于被搬运物破损或者系统出错时的原因分析
储片盒内晶圆的自动搬运系统
能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆
桌面装卸载系统
适用于2,3寸，100mm玻璃片，蓝宝石衬底，SiC，GaN，等多种晶圆的自动传输
300mm晶圆搬运机械手臂
設計可傳輸300mm晶圓往返於2個FOUP，且不需橫移滑軌的機械手臂，對於半導體產業的生產及檢驗製程上的應用有莫大的幫助。