介绍搬运视频

•  采用闭环位置控制
• 300mm SORTER SYSTEM (4个FOUP的inline类型)
• 2寸搬运系统
• 储片盒内晶圆的自动搬运系统
• 防水对应
• 硅片扫描动画 (过透型硅片扫描)
• 胶膜框架搬运
• 疑似多轴规格
• 适合基座，托盘传输搬运
• 不受晶圆材质校准器
• 伯努利搬运
• 培养皿/微孔板搬运