SEMICON KOREA 2017
JEL将在代理─INA CORP., LTD的展位上展出我们的机械手臂
感谢各位的光临。
- 会 期
- 2017年02月08日～10日
- 会 场
- COEX (Convention and Exhibition Center), Seoul, Korea
- 区 号
- No. A2470
参展产品的介绍
配备（PLP）基板校准模块的机械手臂
机械手臂可以高精度完成方形基板的校准和传片功能。
储片盒内晶圆的自动搬运系统
能够高精度完成搬运储片盒，晶圆盒内的减薄晶圆的自动搬运。
胶膜框架搬运机械手臂
可实现Tape Frame片盒内各层位置的随机取放动作。