SEMICON CHINA 2019

参展产品的介绍

储片盒内晶圆的自动搬运系统SSY

一台设备可以完成打包和拆包的功能。
搭载储片盒自动开盖机构。
可动式储片盒，可实现开关盖机构的简略化，抑制交叉污染的发生
自动识别储片盒内晶圆和垫纸。

晶圆搬送用新型机械手臂MTCR（参考出展）

根据半导体设备精确化，实现低震动。
可选配搬送重量3kg，5kg的arm。可根据客户要求实现定制化产品。

可对应翘曲晶圆的新型校准器SAL3000HV系列（参考出展）

可使用自带自动调整功能软件JEL校准工具，实现自动最优化校准多种晶圆。
以及校准较大翘曲晶圆。