超高洁净度洁净间的设置
2016年3月，在福山工厂新建厂房洁净车间内设置了符合Class 1标准的超高洁净度的洁净间。
与敝司现有洁净间相比，面积增大到1.8倍，容积增加到2.6倍，完全满足大型系统设备的洁净度测试需求。
另外，新设置的超高洁净度洁净间的滤芯由现有的ULPA滤芯，（ 0.1～0.2 µm 颗粒过滤效率99.999％）升级到ULPA+PTFE滤芯（0.1 µm颗粒过滤效率99.9999％ ），能够满足更高洁净度测试环境的需求。
通过对洁净机械手臂产品性能指标更准确的测量和把握，为不断设计和生产性能更加优越的洁净机械手臂产品提供保障。
进行机械手臂以及大型系统设备的颗粒测试
超高洁净度洁净间的概要
| 洁净度 | Class 1 |
|---|---|
| 面积 | 大约 11.6m2 (外形尺寸: W2895 x L4020 x H3525) |
| 特点 | 采用ULPA+PTFE滤芯（0.1 µm 颗粒过滤效率99.9999％ ）。循环过滤型系统。 |