玻璃基板搬运机械手臂
FTVHR4750 (连杆式真空/玻璃基板)4轴圆柱坐标型洁净机械手臂
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使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
对应Photomask玻璃基板搬送的4轴圆柱坐标型连杆式真空洁净机械手臂FTVHR4000系列
适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的Photomask玻璃基板的搬运。
- 机械手臂标准臂长: 550mm, 750mm, 800mm, 820mm
- 可搬运质量:手臂第3关节处基准30kg以下(550mm, 750mm, 820mm)
手臂第3关节处基准40kg以下(800mm) - 连杆机构的采用，实现了更优的运动轨迹直线性，并提升了设备的洁净度
- 双臂结构能够缩短更换基板时的手臂动作时间
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
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| 机械手臂型号 | FTVHR4750-095-AM | |||
| 被搬运物 | 1100mm×1250mm 玻璃基板（具有代表性的标准尺寸） | |||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 4轴 | |
| 电机类型 | AC伺服电机 | |||
| 可动范围 | 手臂第3关节中心基准 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 942mm | 330度 | 95mm | ||
| 搬送速度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 1924mm/2.6sec | 180度/3.5sec | 95mm/2.8sec | ||
| 精度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 4.8µm以下 | 0.00018度 | 0.12µm以下 | ||
| 搬运高度 | 583.5mm（法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度） | |||
| 重复性精度 | 手臂(R軸), 旋转角度(θ軸):±0.3mm以内 Z軸:±0.1mm以内 | |||
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa | |||
| 厂务 | 电源：3相 AC200V±10% 4kVA | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註