半导体搬运机械手臂
GCR4280(大口径晶圆搬运)4轴水平多关节型洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
超洁净无尘间用多轴，4轴水平多关节型机械手臂GCR4280-AM系列。
适用于大口径晶圆 (300mm，450mm)半导体生产设备，检测设备等的晶圆搬运。
- 机械手臂标准臂长:280mm
- 仅机械手时可支持3FOUP (300mm晶圆)，2个FOUP（450mm晶圆）
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 可选用双夹盘规格
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | |||
|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | GCR4280-300-AM | ||
| 被搬运物 | ～450mm晶圆, 小型玻璃基板 | ||
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | ||
| 机械结构格式 | 水平多关节 | 控制轴 | 4轴 |
| 电机类型 | 全轴采用AC伺服电机 | ||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 863mm | 335度 | 300mm | |
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 900mm/sec | 250度/sec | 300mm/sec | |
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 1300mm/sec | 350度/sec | 450mm/sec | |
| 精度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 0.0018度 | 0.0015度 | 1.96µm | |
| 搬运高度 | 669mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度) | ||
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
| 厂务 | 电源：单相 AC200V±10% 2kVA 真空：优于-53kPa(使用真空吸附式手指) | ||
| 控制器规格 | |||
| 控制器型号 | C5000S | ||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 外观图（标准规格） |
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指南
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