半导体搬运机械手臂
GTCR5280(300mm晶圆搬运)5轴水平多关节型洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列。
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。
适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。
- 机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm
- 机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长）
或者3个FOUP（280mm臂长） - 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- 通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化
能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 - 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | |||
|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | GTCR5280-300-AM | ||
| 被搬运物 | ～300mm晶圆 | ||
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | ||
| 机械结构格式 | 水平多关节 | 控制轴 | 5軸 |
| 电机类型 | 全轴采用AC伺服电机 | ||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 953mm | 335度 | 300mm | |
| 搬运速度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 833mm/sec | 250度/sec | 300mm/sec | |
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
| 厂务 | 电源：単相 AC200V±10% 2kVA 真空：优于-53kPa(使用真空吸附式手指) | ||
| 质量 | 机械手臂体 大约50kg | ||
| 控制器规格 | |||
| 控制器型号 | C5000S | ||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 外观图（标准规格） |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註