半导体搬运机械手臂
GTFR5280(对应300mm晶圆的)5轴水平多关节型洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格
产品概要
产品型号列表
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产品特点
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂。
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。
适用于300mm半导体生产设备内部，适用于EFEM的晶片搬运。
与我司以往产品的GTCR相比，减少动作禁止区域、速度限制的影响，提高传片效率。
- 机械手臂可以单独对应3个FOUP（280mm臂长）
- 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机, 无需电池
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | GTFR5280-320-DM | |||
| 被搬运物 | ～300mm晶圆 | |||
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | |||
| 机械结构格式 | 水平多关节 | 控制轴 | 5軸 | |
| 电机类型 | 全轴采用AC伺服电机, 无需电池 | |||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 升降(Z轴) | ||
| 893mm | 320mm | |||
| 搬运速度(平均) | 手臂(R轴) | 升降(Z轴) | ||
| 900mm/sec(圆筒动作时) | 320mm/sec | |||
| 搬运速度(最高) | 手臂(R轴) | 升降(Z轴) | ||
| 1,500mm/sec(圆筒动作时) | 540mm/sec | |||
| 重复性精度 | ±0.05mm以内 | |||
| 洁净度 | ISO标准 Class 1 | |||
| 厂务 | 电源：単相 AC200V±10% 2kVA 真空：优于-75kPa(使用真空吸附式手指) | |||
| 质量 | 机械手臂体 大约80kg | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註