半导体搬运机械手臂
JVCR4330 (Micro LED用真空水平多关节机械手臂)
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
Micro LED用4轴真空水平多关节洁净机械手臂
- 可对应平行配置的布局
- 可对应搬运重量10kg
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | JVCR4330-060-AM | |||
| 被搬运物 | 700 mm 适合基座 (10 kg) | |||
| 晶圆吸附方式 | 利用O型胶圈的摩擦力来保持位置 | |||
| 机械结构格式 | 水平多关节 | 控制轴 | 4轴 | |
| 电机类型 | AC伺服电机 | |||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 1290 mm | 360度 | 60 mm | ||
| 搬运速度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 640 mm/4.0 sec | 360 度/5.0 sec | 60 mm/2.0 sec | ||
| 精度 | 第1关节轴 (J1轴) | 第2关节轴 (J2轴) | 第3关节轴 (J3轴) | |
| 8.1x10-4 度 | 8.1x10-4 度 | 7.2x10-4 度 | ||
| 第4关节轴 (J4轴) | ||||
| 0.98 µm | ||||
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | |||
| 洁净度 | 机械手臂体: 0.1 µm/cf Class 1 | |||
| 厂务 | 电源：単相 AC200V±10% 4.0 kVA | |||
| 质量 | 机械手臂体 大约90 kg | |||
| 控制器规格 | ||||
| 控制器型号 | C5000S系列 | |||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註