玻璃基板搬运机械手臂
LHR3400C（玻璃基板)3轴圆柱坐标洁净机械手臂
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使用环境和规格/规格
产品概要
| 型号名称 | LHR3400C |
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| 使用环境 | 洁净间内的大气环境：温度 15°C-40°C |
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*真空洁净机械手臂
真空工艺室温度 ： 15℃～50℃以下 |
| 手臂 | 单臂 |
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| 到达距离 | 1550mm (被搬送物体中心到达距离) |
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| 升降轴最大行程 | 400mm / 500mm / 600mm |
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| 760mm / 900mm / 1500mm |
| 可搬运质量 | 15kg (手臂第3关节处基准) |
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产品型号列表
| 产品型号 | 升降轴最大行程 |
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| LHR3400C-400-AM | 400mm |
| LHR3400C-500-AM | 500mm |
| LHR3400C-600-AM | 600mm |
| LHR3400C-760-AM | 760mm |
| LHR3400C-900-AM | 900mm |
| LHR3400C-1500-AM | 1500mm |
- 照片为 LHR3400C-900-AM
(Z轴400mm，500mm，600mm为单段式，实物和照片有区别)
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产品特点
支持玻璃电路板的3轴圆筒坐标型清洁机械手LHR3000系列。
适用于液晶制造装置内, 检查装置等的玻璃电路板的搬运。
Z行程760mm以上的Z轴采用多级式, 因此可以实现低轧制线。
- 机械手臂标准臂长: 400mm, 500mm, 700mm
- Z轴（升降轴）标准长度: 400mm, 500mm, 600mm, 760mm, 900mm, 1500mm
(Z轴400mm，500mm，600mm为单段式，实物和照片有区别)
- 可搬运质量:手臂第3关节处基准15kg以下(400mm, 500mm)
手臂第3关节处基准40kg以下(700mm)
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 基板固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 手指可以安装多种传感器（校准，有无，Mapping等）
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
测试机型：LHR3400C-600-AM 中的具有代表性的标准品
| 机械手臂型号 |
LHR3400C-600-AM |
| 被搬运物 |
730×920×1.1mm 玻璃基板（具有代表性的标准尺寸） |
| 机械结构格式 |
圆柱坐标 |
控制轴 |
3轴 |
| 电机类型 |
全轴采用AC伺服电机 |
| 可动范围 |
被搬送物体中心到达距离 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1550mm |
330度 |
600mm |
| 搬运速度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1375mm/1.8sec |
180度/1.5sec |
600mm/1.7sec |
| 精度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 8.2µm以下 |
0.0008度 |
2.4µm以下 |
| 搬运高度 |
217mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度) |
| 重复性精度 |
±0.2mm以内 |
| 洁净度 |
0.3µm Class10 (驱动结构内部独立排气条件下) |
| 厂务 |
电源：単相 AC200V±10% 3kVA 真空：-73kPa以上 |
产品一览
