玻璃基板搬运机械手臂
LTHR4400C (玻璃基板)4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
对应玻璃基板搬运的4轴圆柱坐标型洁净机械手臂LTHR4000系列。
适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的玻璃基板搬运。
Z轴升降范围超过760mm以上的部分为多段式，能够有效地降低搬运高度。
- 机械手臂标准臂长: 400mm, 500mm
- Z轴（升降轴）标准长度: 400mm, 500mm, 600mm, 760mm, 900mm
(Z轴超过760mm以上为多段式，实物和照片的外观不同) - 可搬运质量:手臂第3关节处基准15kg以下(400mm, 500mm)
- 双臂结构能够缩短更换基板时的手臂动作时间
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 基板固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 手指可以安装多种传感器（校准，有无，Mapping等）
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
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| 机械手臂型号 | LTHR4400C-600-AM | |||
| 被搬运物 | 730×920×1.1mm 玻璃基板（具有代表性的标准尺寸） | |||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 4轴 | |
| 电机类型 | 全轴采用AC伺服电机 | |||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 1550mm | 330度 | 600mm | ||
| 搬运速度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 1375mm/1.8sec | 180度/1.8sec | 600mm/1.7sec | ||
| 精度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 8.20µm以下 | 0.0008度 | 2.4µm以下 | ||
| 搬运高度 | 271mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度) | |||
| 重复性精度 | ±0.2mm以内 | |||
| 洁净度 | 0.3µm Class10 (驱动结构内部独立排气条件下) | |||
| 厂务 | 電源：3相 AC200V±10% 3kVA 真空：-73kPa以上 | |||
| 控制器规格 | ||||
| 控制器型号 | C5000S系列 | |||
| 控制通讯方式 | 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
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