玻璃基板搬运机械手臂
LVHR3440S (玻璃基板)3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
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使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
对应玻璃基板搬运的3轴圆柱坐标型真空洁净机械手臂LVHR3000系列。
适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的玻璃基板搬运。
- 机械手臂标准臂长: 330mm, 440mm, 500mm, 550mm
- 可搬运质量:手臂第3关节处基准10kg以下
- 手臂关节处使用磁流体密封装置
- 真空密封：磁流体密封装置和波纹管
- 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | LVHR3440S-040-SM | |||
| 被搬运物 | 730×920×1.1mm 玻璃基板（具有代表性的标准尺寸） | |||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 3轴 | |
| 电机类型 | 全轴采用AC伺服电机 | |||
| 可动范围 | 手臂第3关节中心基准 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 880mm | ±182度 | 40mm | ||
| 搬送速度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 1320mm/2.7sec | 180度/1.8sec | 40mm/2.0sec | ||
| 精度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 13.5µm以下 | 0.00097度 | 0.61µm以下 | ||
| 搬运高度 | 168.5mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度) | |||
| 重复性精度 | ±0.2mm以内 | |||
| 洁净度 | 真空密封：磁流体密封装置和波纹管 | |||
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa | |||
| 厂务 | 电源：単相 AC200V±10% 2kVA | |||
| 控制器规格 | ||||
| 控制器型号 | C5000S系列 | |||
| 控制通讯方式 | 控制方式：串口RS232C或者并口光学I/O口 | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註