半导体搬运机械手臂
MTCR41604轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
|
||||||||||||||||||||||||
产品特点
超洁净无尘间用300mm晶圆对应MTCR4000系列。
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求。
比MTHR系列具有更好的性价比优势。
- 机械手臂标准臂长:160mm, 200mm
- 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | |||
|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | MTCR4160-300-AM | ||
| 被搬运物 | ～300mm晶圆 | ||
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式，下托式，边缘夹持式 | ||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 4轴 |
| 电机类型 | 全轴采用AC伺服电机 | ||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 575mm | 340度 | 300mm | |
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 850mm/sec | 340度/sec | 330mm/sec | |
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 1800mm/sec | 550度/sec | 500mm/sec | |
| 精度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 9.82µm以下 | 0.0015度 | 1.96µm | |
| 搬运高度 | 674.5mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度) | ||
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
| 厂务 | 电源：単相 AC200V±10% 3kVA 真空：优于-53kPa(使用真空吸附式手指) | ||
| 控制器规格 | |||
| 控制器型号 | C5000S | ||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 外观图（标准规格） |
|---|
|
指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註