半导体搬运机械手臂
SCR3100S（小径晶圆用）4轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂SCR3100S系列。
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于实现设备的小型化。
- 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装0.1µm级过滤器
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | SCR3100S-200-PM | |||
| 腕部机构模块 | SARS00169 | 手指 | 3D-02535 | |
| 被搬运物 | ～150mm 晶圆 | |||
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | |||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 3轴 | |
| 电机类型 | 步进电机 | |||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 397.7mm | 340度 | 200mm | ||
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 330mm/sec | 280度/sec | 130mm/sec | ||
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 500mm/sec | 480度/sec | 170mm/sec | ||
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 | |||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | |||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 8A 真空：优于-53kPa | |||
| 控制器规格 | ||||
| 控制器型号 | C4000 | |||
| 控制通讯方式 | 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
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