半导体搬运机械手臂
SCR3160CS3轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SCR3000CS系列。
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。
- 机械手臂标准臂长: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | SCR3160CS-300-PM | |||
| 腕部机构模块 | SARS00169 | 手指 | SC-YW-240 | |
| 被搬运物 | ～300mm晶圆 | |||
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | |||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 3轴 | |
| 电机类型 | 步进电机 | |||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 502.7mm | 340度 | 300mm | ||
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 610mm/sec | 340度/sec | 250mm/sec | ||
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 1220mm/sec | 500度/sec | 320mm/sec | ||
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 | |||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | |||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 15A 真空：优于-53kPa以上 | |||
| 质量 | 机械手臂体 大约25kg | |||
| 控制器规格 | ||||
| 控制器型号 | C4000 | |||
| 控制通讯方式 | 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
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