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系统

SORTER SYSTEM (4个FOUP的inline类型 300片/h)

SORTER SYSTEM(4个FOUP的inline类型 300片/h)

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

产品型号	SORTER SYSTEM
使用环境	洁净间内的大气环境
晶圆尺寸	300mm
被搬运物	硅片晶圆
被搬运物	关于产品规格，欢迎垂询
Throughput	300片/h

照片和视频展示产品为 SORTER SYSTEM (4个FOUP的inline类型 300片/h).

产品特点

符合SEMI Standard标准 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
校准器可以作为晶圆交换用的Buffer使用，能够有效地提高了设备的传片效率（300片/h）
配备的ID Reader可以读取晶圆的ID信息（正反面对应为选配件）

标准规格

测试机型：4个FOUP的inline类型（1台洁净机械手臂，1台横向移动装置）
对应片盒	300mm FOUP (25片) SEMI E47.1, E62标准品
被搬运物	300mm 硅片 (厚度：775µm)
Throughput	300 片/h
洁净度	ISO Class 2（FFU使用）
外形尺寸	W 1250mm x D 2500mm x H 1900mm
质量	大约 800kg
厂务	电源：単相 AC200V±10% 2kVA
	干燥空气：0.5MPa±10%
	真空：优于-53kPa

指南

...大气
...真空
...防水
...单臂
...双臂
...薄片晶圆
...CE標註
...JEL标准
...KCs標註