系统
SORTER SYSTEM (4 FOUP对向摆放 400片/h)
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使用环境和规格/规格产品概要
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产品特点
- 符合SEMI Standard标准 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
- 校准器可以作为晶圆交换用的Buffer使用，能够有效地提高了设备的传片效率（400片/h）
- 通过对手臂轨迹的控制，不安装机械手臂本体水平移动轴也可以满足并列摆放的片盒内晶圆的取放
- 通过对手臂活动范围的规划，能够顺畅而且高速地传输晶圆
- 配备的ID Reader可以读取晶圆的ID信息（正反面对应为选配件）
标准规格
| 对应片盒 | 300mm FOUP (25片) SEMI E47.1, E62标准品 | |||
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| 被搬运物 | 300mm 硅片 (厚度：775µm) | |||
| Throughput | 400 片/h | |||
| 洁净度 | ISO Class 2 (FFU使用) | |||
| 外形尺寸 | W 1756mm x D 1200mm x H 1901mm | |||
| 质量 | 大约 600kg | |||
| 厂务 | 电源：単相AC200V±15% 20A | |||
| 干燥空气：0.7MPa to 0.4MPa | ||||
| 真空：优于-60kPa | ||||
| 外观图 |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单臂
- ...双臂
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註