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系统

SORTER SYSTEM (4个FOUP的inline类型 600片/h)

(4个FOUP的inline类型 600片/h)

使用环境和规格/规格

产品概要

产品型号	SORTER SYSTEM
使用环境	洁净间内的大气环境
晶圆尺寸	300mm
被搬运物	硅片晶圆
被搬运物	关于产品规格，欢迎垂询
Throughput	600片/h

视频展示产品为 SORTER SYSTEM (4个FOUP的inline类型 600片/h).

产品特点

符合SEMI Standard标准（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）
高吞吐量（600片/h）
通过对手臂活动范围的规划，能够顺畅而且高速地传输晶圆
配备的ID Reader可以读取晶圆的ID信息（正反面对应为选配件）

标准规格

测试机型：4个FOUP的inline类型 600片/h（搬运机械手使用2台水平多关节型）
对应片盒	300mm FOUP (25片) SEMI E47.1，E62标准品
被搬运物	300mm 硅片 (厚度：775µm)
Throughput	600 片/h
洁净度	ISO Class 2 (FFU使用)
外形尺寸	W 1233mm x D 2160mm x H 2000mm
质量	大约 800kg
厂务	电源:単相AC200V±15% 15A
	干燥空气：0.7MPa～0.4MPa
	真空：优于-60kPa

外観図

指南

...大气
...真空
...防水
...单臂
...双臂
...薄片晶圆
...CE標註
...JEL标准
...KCs標註