系统
SSY-10000 (100mm晶圆桌面系统)晶圆搬运的系统
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
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特点
适用于2,3寸，100mm玻璃，蓝宝石，SiC，GaN等种类晶圆的桌面装卸载系统
- 实现了晶圆检测台和搬运模块一体化的小型桌面系统
- X轴190mm，Y轴200mm的长行程设计，通过手柄可以在XY平台的任意位置旋转晶圆
- 机械手臂采用了双手指结构，能够有效地缩短检测台上的晶圆的更换时间
- 机械手臂和下沉式校准台的组合，具有性价比高，设备占用空间小，以及高性能的特点
规格
| 被搬运物 | ～100mm晶圆 (玻璃, 蓝宝石, SiC, GaN晶圆等) | ||
|---|---|---|---|
| 可动范围 | 被搬运物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 225mm | 360度 | 150mm | |
| 搬运速度 （平均速度） |
手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 225mm/sec | 500度/sec | 200mm/sec | |
| 搬运速度 （最大） |
手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 300mm/sec | 700度/sec | 300mm/sec | |
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | ||
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下） | ||
| 质量 | 机械手臂体 大约15kg | ||
| 厂务 | 电源：AC100V±10% 0.2kVA 真空：优于-53kPa | ||
| 外观图 |
|---|
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单臂
- ...双臂
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註