系统
SSY-10020装载/卸载系统
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
|
产品特点
全新的主要用于LED行业的晶圆搬运系统
可用于多片结构工艺基座, 托盘上晶圆的自动供给和自动回收。搭载分别对应晶圆和基座的晶圆校准器和基座校准器，能够对晶圆的缺边位置及基座的中心进行校准以及分类。
标准规格
可适应不同的工件尺寸、盒数等要求。
关于产品规格，欢迎垂询。
| 外观图 |
|---|
|
指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单臂
- ...双臂
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註