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系统

SSY-11010（储片盒内晶圆的自动搬运系统）搬送的系统

SSY-11010 Automatic wafer transfer system for wafer container

　

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称	SSY-11010
使用环境	洁净间内的大气环境
可对应片盒的种类	200 mm 储片盒, 200 mm 片盒
晶圆尺寸	200 mm
被搬运物	硅片晶圆, 片间垫片
被搬运物	我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。可对应多家厂商规格的储片盒。更多信息请咨询弊司。

照片和视频为 SSY-11010(*)

(*) 本系统的详细内容请观看介绍搬运视频　。

产品特点

能够高精度完成搬运储片盒，晶圆盒内的减薄晶圆的自动搬运。
搭载储片盒自动开盖机构（已申请专利）

自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸）
一台设备可以完成打包和拆包的功能
储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
可自动识别晶圆高度
可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

标准规格

我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
被搬运物	200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
可对应片盒的种类	200 mm 储片盒, 200 mm 片盒
洁净度	ISO标准 Class 2
外形尺寸	1600 (宽) x 1305 (深) x 1800 (高)
厂务	电源：AC200V±10% 洁净气源：0.5 MPa 150 NL/min 以上
质量	700 kg

外观图（标准规格）

指南

...大气
...真空
...防水
...单臂
...双臂
...薄片晶圆
...CE標註
...JEL标准
...KCs標註