半导体搬运机械手臂
STWCR4160 (防水式）4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
防水4轴圆柱坐标型机械手臂STWCR4000系列（配备300 mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构）。
能够在酸性，碱性雾气环境下搬运半导体晶圆。
- 机械手臂标准臂长：160 mm、200 mm
- 手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性
- 手臂关节部位防水结构使用V型密封圈
- 零件之间的结合面采用Viton材质的密封条
- Z轴的防水结构可以使用蛇腹管
- 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式
- 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | STWCR4160-300-PM | |||
| 被搬运物 | ～300 mm晶圆 | |||
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | |||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 4轴 | |
| 电机类型 | 2相步进电机 | |||
| 可动范围 | 手臂第3关节中心 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 315 mm | 340度 | 300 mm | ||
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 280 mm/sec | 90度/sec | 90 mm/sec | ||
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 550 mm/sec | 120度/sec | 120 mm/sec | ||
| 精度 | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 126 µm以下 | 0.0045度 | 6.25 µm以下 | ||
| 重复性精度 | ±0.2 mm以内 | |||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 11A 正压：0.15 MPa | |||
| 控制器规格 | ||||
| 控制器型号 | C4000系列 | |||
| 控制通讯方式 | 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 | |||
指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註