要用搬送机械手，就选JEL

半导体搬运机械手臂

SVCR32603轴圆柱坐标洁净机械手臂

SVCR3260-040-PM

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称	SVCR3260
使用环境	真空部：温度 15℃～50℃
使用环境	驱动结构内部：洁净间内的大气环境温度 15℃～40℃
手臂	单臂
到达距离	520mm (第3関節中心距離)
升降轴最大行程	20mm / 40mm
可搬运质量	2kg (第3関節換算)

产品型号列表

产品型号		升降轴最大行程
SVCR3260-020-PM		20mm
SVCR3260-040-PM		40mm

照片和视频展示产品为SVCR3260-040-PM

产品特点

真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运。
相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势。
另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造。

机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置和波纹管
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
可以选配2相步进电机规格
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指

标准规格

测试机型：SVCR3260-040-PM (步进电机) 中的具有代表性的标准品被搬运物体，以及手指形状的不同上述测量结果会不同。
机械手臂规格
机械手臂型号	SVCR3260-040-PM
被搬运物	～300mm晶圆
晶圆吸附方式	下托式/ 利用晶圆自重的边缘夹持式
机械结构格式	圆柱坐标	控制轴	3轴
电机类型	全轴采用2相步进电机
可动范围	手臂第3关节中心	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
可动范围	520mm	330度	40mm
搬运速度（平均）	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
搬运速度（平均）	300mm/sec	120度/sec	20mm/sec
搬运速度（最大）	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
搬运速度（最大）	550mm/sec	170度/sec	30mm/sec
精度	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
精度	82µm以下	0.009度	1.25µm
搬运高度	98mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度)
重复性精度	±0.1mm以内
洁净度	真空密封：磁流体密封装置和波纹管
耐真空度	1.33×10^-6Pa
厂务	电源：DC24V±10% 8A
控制器规格
控制器型号	C4000
控制通讯方式	RS232C及并口I/O方式

外观图（标准规格）

指南

...大气
...真空
...防水
...单手指
...双手指
...薄片晶圆
...CE標註
...JEL标准
...KCs標註