要用搬送机械手，就选JEL

半导体搬运机械手臂

SVCR3330S（适合基座，托盘传输）3轴圆柱坐标洁净机械手臂

SVCR3330S-060-PM

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称	SVCR3330S
使用环境	洁净间内的大气环境真空
手臂	单臂
到达距离	640mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程	60mm
可搬运质量	10kg以下 (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

产品型号		升降轴最大行程
SVCR3330S-060-PM		60mm

照片和视频展示产品为SVCR3330S-060-PM

产品特点

真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列。
双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘。
相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势。

手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置和波纹管
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
可以选配2相步进电机规格
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指

标准规格

测试机型：SVCR3330S-060-PM（步进电机规格）中具有代表性的标准品。被搬运物体，以及手指形状的不同上述测量结果会不同。
机械手臂规格
机械手臂型号	SVCR3330S-060-PM
被搬运物	342mm托盘x2片（具有代表性的尺寸）
晶圆吸附方式	下托式/ 利用晶圆自重的边缘夹持式
机械结构格式	圆柱坐标	控制轴	3轴
电机类型	全轴采用2相步进电机
可动范围	被搬送物体中心到达距离	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
可动范围	1075mm	330度	60mm
搬运速度（平均）	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
搬运速度（平均）	250mm/sec	90度/sec	30mm/sec
搬运速度（最大）	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
搬运速度（最大）	380mm/sec	135度/sec	45mm/sec
精度	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
精度	65µm以下	0.0056度	2.777µm
重复性精度	±0.2mm以内
搬运高度	188.5mm（法兰安装面到手指安装面的高度）
洁净度	真空密封：磁流体密封装置和波纹管
耐真空度	1.33×10^-6Pa
厂务	電源：DC24V±10% 11A
控制器规格
控制器型号	C4000
控制通讯方式	RS232C及并口I/O方式

外观图（标准规格）

指南

...大气
...真空
...防水
...单手指
...双手指
...薄片晶圆
...CE標註
...JEL标准
...KCs標註