半导体搬运机械手臂
SWCR3160CS ( 防水式）3轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列（配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构）。
在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性，碱性环境下搬运半导体晶圆。
- 手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性
- 手臂关节部位防水结构使用V型密封圈
- 零件之间的结合面采用Viton材质的密封条
- Z轴的防水结构可以使用蛇腹管
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式
- 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | |||
|---|---|---|---|
| 被搬运物 | ～300mm晶圆 | ||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 3轴 |
| 电机类型 | 2相步进电机 | ||
| 動作範囲※ | 手臂第3关节中心 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 312mm | 340度 | 300mm | |
| 搬送速度(平均)※ | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 250mm/sec | 120度/sec | 70mm/sec | |
| 搬送速度(最高)※ | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 500mm/sec | 160度/sec | 85mm/sec | |
| 精度※ | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 49µm以下 | 0.0214度 | 12.5µm以下 | |
| 搬运高度※ | 255mm (从法兰安装面到夹盘安装面之间) | ||
| 重复性精度 | ±0.2mm以内 | ||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 15A 正圧：0.15MPa | ||
| 控制器规格 | |||
| 控制器型号 | C4000系列 | ||
| 控制通讯方式 | 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 | ||
| 外观图（标准规格） |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註