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采用闭环位置控制

在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，适用于2寸-300mm晶圆传输的新型机械手臂。
采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式，有效地提高了机械手臂的可靠性。

*能够适用于圆柱坐标単臂机械手臂：SCR3160CSN (采用闭环位置控制)