介绍在Semicon Japan 2023展出的产品视频
请参观Semicon Japan 2023 上JEL的展机
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φ200㎜ SMIF POD対応系统 SSY
使用SMIF OPENER可实现POD开闭
搭载5轴水平多关节洁净搬运机械手臂，可支持3Port。
TAIKO™减薄晶圆搬送机械手臂 STCR
增加抓取方法的选择性。
可支持多种类晶圆的搬运。
通过大流量、多配线化、刚性提高，对应于大流量型伯努利以及各种传感器搭载等
TAIKO™是DISCO Corporation株式会社的商标或注册商标。