介绍在Semicon Japan 2024展出的产品视频
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PLP搬运机械手 JFR系列
PLP可高速、低震动兼容搬运的最大尺寸为600mm×600mm, 最大重量为4kg。
机械手为水平多关节结构,可对应2个Port。
机械手手指搭载非接触校准功能,仅通过机械手即可校准被搬运物位置。
φ300㎜ EFEM SSY系列
通过单台双臂机械手的手臂斜向动作可对应最多2个Port。
通过JEL多样化机械手的选择,例如与走行轴组合或水平多关节机械手等,可实现对应 3台以上Port的布局。
真空搬运机器人STVCR系列
适用于真空环境下φ300㎜以下各种搬运的常年畅销机。
采用双臂架可缩短工件更换时间;采用接触型树脂垫固定工件可实现高速搬运并提高生产率。
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