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其他

伯努利机械手指(接触式)

Bernoulli End-Effector (Contact type)

产品视频

使用环境和规格/规格


产品概要

型号名称伯努利机械手指(接触式)

伯努利原理机械手指(接触式)的原理


产品特点

  • 针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指。
  • 可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用。
  • 通过使用晶圆样品进行实际的验证传输测试,可以按照客户的需要,针对不同尺寸,翘曲量,晶圆厚度的任意形状的晶圆进行机械手指的定制设计。
  • 利用伯努利原理的气流压力差吸附晶圆。
  • 利用橡胶垫和晶圆之间的摩擦力,防止晶圆在传输过程中可能发生的位置偏移。
  • 晶圆表面和机械手指的橡胶垫发生接触,能够同时对应不同规格的晶圆(※特殊情况的组合下,存在无法实现不同尺寸晶圆兼顾的情况),相对于非接触式机械手指,接触式机械手指的厚度可以做到更薄。
  • 相对于真空吸附方式的手指,伯努利原理机械手指的吸附力会分散到整个晶圆表面,更适合用于减薄晶圆的传输。

标准规格

材质
表面处理 黑色表面阳极氧化
晶圆固定方式 旋风式真空吸盘提供吸力,橡胶垫(H-NBR)用于晶圆固定
(和晶圆表面接触部分的材质可以定制生产)
配套设施 30~80L/min(随搬运物的尺寸,厚度变化)

关于产品规格,欢迎垂询。



产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单臂
  • ...双臂
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註