伯努利机械手指的原理

供给口导入的气体会从吸盘的内部圆筒状侧面的喷口高速喷出，并在吸盘内部的筒状空间内形成旋转气流，并形成负压。（旋风效应）
上述气流最终通过机械手指吸附表面和晶圆表面之间的间隙释放到外部空间。
气流在旋风吸盘和晶圆之间的空间中形成稳定的层流，并造成晶圆上下表面间的压力差，最终形成对晶圆向上的吸附力。

特点

根据用途可以选择伯努利式机械手指，旋风真空吸盘式机械手指。

为了回答众多的客户需求，JEL开发了可用于翘曲，减薄晶圆传输的低价格机械手指。
能够适应不同尺寸，形状的被搬运物。
能够降低吸附过程中晶圆所承受的应力负载，最大程度地降低在吸附过程可能对晶圆造成的损伤。
伯努利原理机械手指的厚度能够做到很薄。

使用直径25mm，厚度2.5mm的旋风式真空吸盘。
能够适应不同尺寸，形状的被搬运物。
可以配套伯努利原理校准器使用。
旋风式真空吸盘机械手指相对于伯努利原理机械手指具有吸力更大的特点。

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