半导体搬运机械手臂
STCR4160S(双臂带翻转机构的)4轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
- 使用了JEL制造的伯努利原理机械手指，可吸附减薄晶圆
- 具有较高的刚性，手臂的第三关节可以承受3kg的负载（包括手指和搬运物）
- 采用了步进电机驱动，能够有效地降低耗电量有利于节能
- 双机械手指结构，能够缩短晶圆的交换时间
- 双臂带翻转机构的
- 可以根据客户设备的布局，选择法兰固定方式或者底座固定方式
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | STCR4160S-300-PM | |||
| 腕部机构模块 | SART08674 | 手指 | 伯努利原理机械手指 | |
| 被搬运物 | 150mm, 200mm晶圆 | |||
| 晶圆吸附方式 | 旋风式真空吸盘提供吸力，橡胶垫用于晶圆固定 (和晶圆表面接触部分的材质可以定制生产) |
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| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | 控制轴 | 4轴 | |
| 电机类型 | 步进电机 | |||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 640mm | 340度 | 300mm | ||
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 500mm/sec | 180度/sec | 200mm/sec | ||
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 1230mm/sec | 300度/sec | 250mm/sec | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | |||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 16A 正压：60SLM以上×2系統 0.1～0.3MPa | |||
| 质量 | 机械手臂体 大约30kg | |||
| 控制器规格 | ||||
| 控制器型号 | C4000 | |||
| 控制通讯方式 | 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单手指
- ...双手指
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註