要用搬送机械手,就选JEL

新型Aligner "SAL3000HV 系列" (全自动对应版本)的产品介绍

JEL最新研发的可对应多种类型晶圆的新型Aligner "SAL3000HV 系列" 全自动对应版本。
全自动调整功能软件 "JEL ALIGN TOOL" 能够完成多种不同用途晶圆的校准功能。
客户可以独立完成晶圆的Alignment参数调整,不再需要返厂调试,大幅度缩减客户的时间成本。
2016年12月14日之后出厂的Aligner "SAL3000HV 系列" 产品都会配备具有全自动调整功能的JEL ALIGN TOOL软件。
有关可对应产品型号,以及已出厂产品的升级改造事宜请联系我司销售人员。

对象机型
SAL3000HV 系列
        SAL3262HV(2寸~150 mm晶圆)
        SAL3482HV(100 mm~200 mm晶圆)
        SAL38C3HV(200 mm~300 mm晶圆)

 "JEL ALIGN TOOL"的3个特点

1. 能够协作客户完成复杂的校准工作

全自动模式运行中(参考图)

全自动模式运行中(参考图)

不需要客户对传感器阈值,LED照明等参数进行调节!
软件可以全自动完成参数调节等所有的校准功能。


2. 用户只需使用鼠标进行一次点击操作

软件界面开始按钮(参考图)

软件界面开始按钮(参考图)

使用鼠标点击开始按钮!
就可以在生产现场迅速地完成Alignment的所有工作。


3. 可对应多种材质的晶圆

晶圆种类

晶圆种类

可自动适应不同材质的晶圆

使用条件

Supported OS ○: Supported, ×: Not supported
OS 32/64 bit Japanese/English
Windows 7 32
64
Windows 8 32 ×
64
Windows 8.1 32 ×
64
Windows 10 32
64
Windows Embedded 32
64 ×

连接线:USB(B口)

※本工具软件调整后的定位精度需要确认,所以对于调整后精度,需要在客户现场设备上进行确认。