故障对应
※半导体用机械手通用
初始动作故障
吸附系统故障
操作、控制故障
碰到机械臂时
- 由客户负责进行调整。
(建议参加本公司指定的培训课程)
- 碰到机械臂时
- Arm (PDF)
- Arm origin adjusment manual for single arm (PDF)
- Arm origin adjusment manual for twin arm (PDF)
出错时
- 出错时
- Errors 01-06 (PDF)
- Error *1 (PDF)
- Error *2 (PDF)
- Error *3 (PDF)
- Error *4 (PDF)
- Error *07 (PDF)
- Error *08 (PDF)
- Error *75 (PDF)
- Error *77 (PDF)