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不受晶圆材质校准器

不受晶圆材质校准器 SAL3482HV
JEL最新研发的可对应多种类型晶圆的新型Aligner "SAL3000HV 系列" 全自动对应版本。
适用于100-200mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner。
可适用于硅片,带BG胶带(乳白色)的硅片,透明,半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准。

*能够适用于其他晶圆尺寸:SAL3262HV(2, 3寸, 100-150mm晶圆), SAL38C3HV(200-300mm晶圆)


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